概述
提供各種類型的 HR 電機,從(cong) 單個(ge) 元件到具有 8 個(ge) 疊加元件的電機。
HR 電機用於(yu) 移動線性和旋轉平台。
它的變速範圍很廣,從(cong) 每秒幾微米到 250 毫米,可以很容易地連接到一般的低摩擦平台和其他設備上。
[主要特點]
1) 移動距離無限製
2) 可變速範圍從(cong) 1 μ/sec 到 250 mm/sec
3) 出色的移動和靜態性能
4) 分辨率為(wei) 100 nm 或更小(取決(jue) 於(yu) 條件)
5)無-磁場電機類型不會(hui) 對外部產(chan) 生磁場幹擾
6) 可提供真空規格
日本koenn多功能超聲波馬達HR