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日本ulvac換能器類型皮拉尼真空計SP1
傳(chuan) 感器單元 (SP1) 是 G-TRAN 係列皮拉尼規型測量單元。
傳(chuan) 感器單元采用觸針和電路部分一體(ti) 化的結構（觸針可更換），是適合降低成本和節省空間的真空計。
特征
傳(chuan) 感器規格：不需要壓力指示器時、降低真空計成本、節省控製麵板周圍的空間、節省布線等。
輕鬆更換觸控筆
燈絲(si) 材料使用耐腐蝕鉑。
您一直使用的觸控筆（SP1：WP-01、02、03、16）可以原樣使用。
可以輸出兩(liang) 個(ge) 設定點
SP1：壓力為(wei) 0～5V輸出（非線性輸出）
電源電壓：可使用DC24V輸入
用途
用於(yu) 半導體(ti) 和電子元件等各種製造設備的低真空區域的過程控製
用於(yu) 熔爐等各種工業(ye) 設備的低真空區域的過程控製
用於(yu) 在線型和單晶片型等具有許多工藝室的各種製造設備的低真空區域的工藝控製
日本ulvac換能器類型皮拉尼真空計SP1
規格
| 類型 | 傳感器單元 |
| 模型 | SP1 |
| 自適應探頭 | WP-01、WP-02、WP-03、WP-16 |
測量精度 | ±15%（51Pa 至 760Pa） |
| ±30%（10Pa 至 1000Pa） | |
| ±50%（0.4Pa 至 3000Pa） | |
| 工作溫度限製 | 10 至 40°C |
| 采樣時間 | 50ms 5次移動平均處理 |
測量值輸出 | 非線性輸出：DC0-5V (Max.10V) |
| （更新時間） 50 毫秒 | |
| (分辨率) 10mV | |
| 設定點 1/2 調整的輸出 | 非線性輸出：DC 0-5V (Max.10V) |
| 控製輸出信號 | 集電極開路，負邏輯 |
| 錯誤信號 | |
| 設定點 1/2 | |
| LED顯示屏 | 功率、誤差、設定值 1/2 |
| 電源電壓 | DC24V±2V, 90mA (Max.) |
| 輸入/輸出連接器 | D-sub-15P（M2.6螺絲） |
| 身體質量 | 190g（不含觸控筆） |
配件 | 輸入/輸出連接器 1套 |
| 快速手冊 1 份 |
