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日本yamashitadenso表麵缺陷檢測設備
應用流傳(chuan) 已久的魔鏡(透光鏡)原理，達成實時檢測鏡麵平板基材表麵狀態的裝置。受世界各地的矽晶圓廠所用。
非接觸、非破壞性的檢查，以及免維護的光學係統根據選配，可追加表麵缺陷自動判定影像處理軟體(ti) 、自動化搬運裝置、影像儲(chu) 存、影像列印等功能。
即時顯示所有表麵狀態。
光學係統對應等級１
光學係統無須維護。
根據檢測內(nei) 容，可修正檢測靈敏度。詢
| 檢測尺寸 | 從φ100mm至φ300mm |
| 檢測內容 | 平坦度、凹洞、凸起、刮痕、橘皮等 |
| 檢測倍率 | 1x / 3x 模式可切換（標準設備） |
| 檢測靈敏度 | 檢測靈敏度可連續調整 |
| 使用光源 | 550nm （固定照度之穩定光源） |
| 鏡頭 | 高解析度CCD鏡頭 |
| 平台 | 手動平台（標準設備） |
用途
| 鏡麵晶圓的表麵檢測 |
| 滑線檢測 |
| 玻璃基板檢測 |
| 其他鏡麵基板檢測 |
選配
| 電動馬達檢測平移台 |
| 自動判定缺陷影像處理裝置 |
| 影像列印機 |
| 搬運裝置 |
※ 可以隨時在敝公司內(nei) 展示。
※ 可將樣品寄送過來，之後我們(men) 再將影像結果回寄。
日本yamashitadenso表麵缺陷檢測設備
規格
| 尺寸 | 從φ100mm至φ300mm |
| 檢測內容 | 平坦度、凹洞、凸起、刮痕、橘皮等 |
| 檢測倍率 | 1x / 3x 模式可切換（標準設備） |
| 檢測靈敏度 | 檢測靈敏度可連續調整 |
| 使用光源 | 550nm （固定照度之穩定光源） |
| 鏡頭 | 高解析度CCD鏡頭 |
| 平台 | 手動平台（標準設備） |
