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日本applics臭氧分解劑
日本applics臭氧分解劑
臭氧分解劑

臭氧水分解劑[OZK-U85-S1-EVG200G]用紫外線燈分解溶解在臭氧水中的臭氧,主要用於(yu) 分解半導體(ti) 或液晶製造過程中使用的純臭氧水。
產品名稱 | 臭氧水分解設備 |
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模型 | OZK-U85-S1-EVG200G(AC100V 50 / 60Hz規格) |
能力 | *取決(jue) 於(yu) 使用條件和環境。
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原則 | 紫外線照射法 |
電源供應 | 單相AC200V±10% |
評論 | 拆卸塔與(yu) 控製單元的分離類型 發生每種異常時,燈泡異常顯示和外部接點輸出 |
■本裝置は紫外線照射方式によるオゾン水分解裝置で、 分解塔と製禦ユニットが分離されていますので、例えば分解 塔は床下設置、製禦ユニットは他の裝置內部への組込みや、 壁麵への取付など設置上の自由度が高く設計されています。
製品名 オゾン水分解裝置(分離タイプ) 型 式 OZK-U85-S1-EVG200G(AC200V 50 / 60Hz 仕様) 原 理 紫外線照射方式 対 象 純オゾン水 (石英ガラスを溶解する物質や紫外線の透過を妨げる物質を含まないこと) 使用液條 件 ・ 分解液溫度範囲:20~50℃(周囲溫度:15~40℃、90%RH以下) ・ 使用圧力:0.4 MPa 以下 耐圧性能:0.6Mpa 以下(衝撃圧不可) ・ 使用流量範囲:20L/min 以下 接続口 Rc1 インチ(通水入口、通水出口) 機 能 ・ 溫度過昇時(溫度設定変更可)のランプ出力遮斷、及び表示ランプ點燈 ・ ランプ不點時のランプ異常表示ランプ點燈 ・ 各異常発生時の外部接點出力 ・ 製禦ボックス點燈スイッチ、又は外部接點信號によるランプ點燈 外 部 接 続 ・ 電源入力:メタルコネクタ(HS21R-3) ・ 外部入出力信號メタルコネクタ(HS21R-6) ・ 無電圧接點信號、接點容量 AC250V 7A ・ 分解塔過昇溫外部出力(設定溫度より上昇時接點閉) ・ ランプ不點出力信號(ランプ不點時接點閉) ・ ランプ點燈入力信號(接點閉でランプ點燈) ・ 溫度測定 分解塔の出口接続部分溫度を Pt100Ω測溫抵抗體で測定 電 源 単相 AC200V±10%、2A、50 / 60Hz 接液部材 質 PTFE、SUS304、石英ガラス 製 禦 ユ ニ ッ ト ・ 材質:SUS304 ・ 外形寸法:250(W)×300(H)×150(D)(突起物含まず) ・ 重量:約 7Kg ・ 製禦ユニット~分解塔間ケーブル長:5m 分解塔 ・ 材質:SUS304、PTFE、石英ガラス、PVC ・ 外形寸法:Φ90×510L(突起物含まず) ・ 重量:約 8Kg(乾燥) ・ 容積:約 1.5L 設置方 法 分解塔:橫置 / 製禦ユニット:取付穴(4箇所)を利用して壁麵等へ取付 付 屬 品 ・ 電源用メタルコネクタプラグ ・・・・1 個 ・ 外部入出力用メタルコネクタプラグ ・・・・1 個 ・ 溫度センサ用ケーブル(メタルコネクタプラグ)・・・・・1式 ・ ランプ接続ケーブル(メタルコネクタプラグ) ・・・・・1式