噴霧方式は外部混合二流體(ti) ノズルになります。噴霧仕様を案內(nei) 頂き設計致しますので、ぜひご利用ください。設備取り付けに合わせたノズル形狀で製作が可能です。
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日本進口二流體(ti) 噴嘴納米噴頭半導體(ti) 行業(ye) 用
在我們(men) 身邊的各種電子設備中使用的半導體(ti) 。近來,半導體(ti) 的重要性進一步提高,與(yu) 此相結合,半導體(ti) 的品質提高是必須的。在半導體(ti) 製造裝置中,清洗矽片的半導體(ti) 清洗裝置是去除導致半導體(ti) 質量下降的垃圾等異物的重要設備。在半導體(ti) 清洗裝置中,在將純水和藥劑吹到矽片上的清洗工序中,多使用1流體(ti) 和2流體(ti) 的噴嘴。
附著在對象物上的異物和汙垢,從(cong) 0.1℉的垃圾中微量的重金屬原子、碳分子、油脂等各種各樣,其中也有至今為(wei) 止的噴霧無法清洗、除去的東(dong) 西。根據異物的不同有難以除去的東(dong) 西,不能充分發揮作為(wei) 清洗裝置的性能。另外,半導體(ti) 清洗裝置的內(nei) 部,隻有複雜而有限的空間,可以搭載的噴嘴有限。為(wei) 此,本事例的顧客,尋找著①適合裝置的緊湊形狀,②清洗能力高確實能除去異物,③清洗時間能縮短的噴嘴。
特長
微粒化特性に優(you) れた二流體(ti) ノズル
耐酸性、耐アルカリ性に優(you) れたPEEK樹脂を採用
低粘度から高粘度までの微粒化噴霧が可能
重量はわずか15g
液通路徑が大きく、詰まり対策に有効
専用設計品
日本進口二流體(ti) 噴嘴納米噴頭半導體(ti) 行業(ye) 用
耐食性に優(you) れ、粘性流體(ti) の微粒化塗布に最適なPEEK型
二流體(ti) ノズル
半導體(ti) 精密洗浄
純水噴霧
エッチングでの薬液使用
液晶製造裝置への組込み
日本進口二流體(ti) 噴嘴納米噴頭半導體(ti) 行業(ye) 用