日本optiworks 4D技術表麵輪廓儀NanoCam Sq 測厚儀

日本optiworks 4D技術表麵輪廓儀(yi) NanoCam Sq

特征

地表觀測係統基於(yu) 有的超高速幹涉儀(yi) “動態幹涉儀(yi) "
4D技術自主研發的“動態幹涉儀(yi) "，可實現100微秒標準的超高速幹涉測量。即使在無法避免振動的地方也可以進行測量。

輕巧緊湊
機身尺寸約為(wei) 24 x 24 x 8 厘米，重量約為(wei) 4.6 千克。便攜性強，可攜帶在被測物體(ti) 附近進行接近測量。多種可選

鏡頭 長工作距離幹涉儀(yi) 用物鏡 ×2.5、×5、×10、×20、×50（開發中）

內(nei) 置LED光源（460nm）

綜合分析軟件“4Sight™" 

“動態幹涉測量法"

傳(chuan) 統的移相幹涉儀(yi) 使用壓電元件等移動參考平麵，獲取幹涉條紋的圖像，並計算相位分布。單次測量至少需要100毫秒，在此期間幹涉儀(yi) 與(yu) 測量樣品之間會(hui) 發生相對振動和空氣波動，導致幹涉條紋發生波動，導致測量誤差增加。為(wei) 了防止這種情況，需要光學麵板、防振裝置、擋風玻璃等。
4D Technology的動態幹涉儀(yi) 是一種劃時代的係統，以其“動態幹涉測量"解決(jue) 了此類問題。
在“動態幹涉"中，無需機械移動參考平麵，一次圖像數據采集即可獲得四幀相移幹涉圖。由於(yu) 對相機的每個(ge) 像素進行相移，因此可以穩定地收集數據，並且由於(yu) 一次測量的時間可以縮短到 30 微秒，因此可以在幹涉圖像因振動等而發生變化之前的瞬間進行測量.完成。
這使得可以在振動不可避免的環境中進行測量，測量遠處的樣品和移動物體(ti) ，以及測量在室內(nei) 進行環境試驗的樣品。

日本optiworks 4D技術表麵輪廓儀(yi) NanoCam Sq

“4Sight™"數據分析軟件

用於(yu) 高級幹涉儀(yi) 的高級軟件。4D Technology 的 4Sight™ 被認為(wei) 業(ye) 界良好的幹涉測量軟件。

數據采集
・可以在4Sight™測量控製台查看實時圖像的同時進行調整
・多種數據采集模式，如單次、平均、連續、差分和突發（電影）

數據分析
・斜率、直方圖
・衍射分析（PSF、MTF、自協方差）
・幾何光學分析（點擴散強度分布、圓形或方形孔徑能量分布）
・澤尼克分析
・各種掩模函數和其他自定義(yi) 分析函數可以添加。