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日本ulvac冷陰極電離真空計 SC1

更新日期:2024-05-16

訪問量:1144

廠商性質:經銷商

生產(chan) 地址:

簡要描述:
日本ulvac冷陰極電離真空計 SC1
G-TRAN係列是基於(1)降低設備成本、(2)節省空間、(3)節省布線的概念開發的真空計,用於集中過程控製和各種設備的小型化。它由傳感器單元和顯示單元的基本單元組成,可以根據應用進行組合。

日本ulvac冷陰極電離真空計 SC1

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G-TRAN係列是基於(yu) (1)降低設備成本、(2)節省空間、(3)節省布線的概念開發的真空計,用於(yu) 集中過程控製和各種設備的小型化。
它由傳(chuan) 感器單元和顯示單元的基本單元組成,可以根據應用進行組合。

特征

  • 探頭與(yu) 測量電路一體(ti) 化結構

  • 模擬輸出和設定值輸出

  • 獨立的偽(wei) 對數輸出和設定值輸出(顯示單元)

  • 采用 48 x 96mm DIN 標準尺寸(顯示單元)

用途

  • 用於(yu) 半導體(ti) 和電子零件等各種製造設備的過程控製

  • 用於(yu) 熔爐等各種工業(ye) 設備的過程控製

  • 用於(yu) 在線式和單晶片式等具有許多工藝室的各種製造設備的工藝控製

日本ulvac冷陰極電離真空計 SC1

規格

類型傳感器單元
模型SC1
自適應探頭C-21、23、24、25
測量壓力範圍1.0×10 -5至 1.0 Pa
測量精度+99%,-50%(1.0×10 -4到 1.0×10 -1
工作溫度限製10~40℃
測量值輸出非線性輸出:DC0V 至 10V(HV-OFF 時為 10V)
SETPOINT1/2 調整輸出非線性輸出:0 至 10V DC
控製輸入信號高壓開/關
輸出信號集電極開路,負邏輯
控製輸出信號放電確認/設定點 1/2
LED顯示屏功率、高壓、壓力保護、設定點 1/2
電源DC24V±2V, 150mA
輸入/輸出連接器D-sub-15 針(M2.6 螺絲)
身體質量430g(不含觸控筆)
配件輸入/輸出連接器 1套
1份快速手冊



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