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日本ballwave微量水分計Falcon Trace 係列
超微量水分計“Falcon Trace"是使用球型SAW傳(chuan) 感器定量測量工業(ye) 氣體(ti) 和天然氣中極微量水分子的設備。
響應速度極快,可實時監測含水量變化,可測量含水量和背景氣體(ti) 成分分析兩(liang) 項。氣體(ti) 中的水濃度可以精確測量到 1 ppb (1/10 億(yi) ) 的水平。
球SAW傳感器測量原理
① 表麵聲波(IDT;Inter Digital Transducer)產(chan) 生表麵聲波
② 表麵聲波在球的赤道線上循環,對所施加的敏感膜的微小變化作出
反應 ③ 反應後表麵聲波的信號變化 異形電極檢測
④ 通過多輪積分微小變化實現高靈敏度傳(chuan) 感。
案例研究/應用
半導體(ti) 製造設備製造商
(主要是前端工藝)電池製造商
及其材料製造商的製造過程工業(ye) 氣體(ti) 製造商
產品陣容
響應速度極快,可在數秒內(nei) 監測含水量變化,有助於(yu) 穩定半導體(ti) 和二次電池製造過程中的產(chan) 品良率和質量。
無需重新配置每種背景氣體(ti) ,當天然氣等成分發生波動時,可以同時檢測。另一個(ge) 主要優(you) 點是傳(chuan) 感器材料是水晶球,這使其耐腐蝕、重量輕且易於(yu) 攜帶。
FT-700WT
實現“超"微量水分測量的係列機型
測量範圍從(cong) 露點 -110°C 到 -20°C
除露點測量外,背景氣體(ti) *成分(相當於(yu) 平均分子量)也以 % 水平檢測
* 背景氣體(ti) :要測量的氣體(ti) 的含水量用這一裝置覆蓋從(cong) 天然氣到高純度氣體(ti)
應用示例
工業(ye) 氣體(ti) 製造過程/出貨時的質量控製,半導體(ti) 製造材料氣體(ti) 純度控製
FT-400WT
可在中等範圍內(nei) 進行實時測量的中等型號
在 1 秒內(nei) 測量從(cong) -90°C 的露點開始的變化,非常適合實時控製係統測量
也可以更改為(wei) 設備內(nei) 置類型*
* 請聯係我們(men)
應用示例
一般生產(chan) 線的質量控製,電池製造過程的水分含量監測
FT-300WT
在保持高速響應性的同時強調便攜性的小型通用型號
1秒內(nei) 測量-70°C露點的變化,支持實時測量係統
輕巧緊湊,重量僅(jin) 為(wei) 2 公斤,便於(yu) 攜帶到目標區域
即使在因電池驅動而沒有商用電源的地方也可以使用
應用示例
幹燥箱、空間水分分布、一般氣體(ti)