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日本Profilm3D 3D 表麵形狀測量係統

更新日期:2024-05-15

訪問量:1785

廠商性質:經銷商

生產(chan) 地址:

簡要描述:
日本Profilm3D 3D 表麵形狀測量係統
它是一個使用白光幹涉技術的係統,可以無接觸地測量包括台階和粗糙度在內的三維形狀。

日本Profilm3D 3D 表麵形狀測量係統

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它是一個(ge) 使用白光幹涉技術的係統,可以無接觸地測量包括台階和粗糙度在內(nei) 的三維形狀。

Profilm 3D 適用於(yu) 測量小樣品,涵蓋了測量 3D 形狀所需的所有功能,並且比傳(chuan) 統產(chan) 品更緊湊、更便宜。
各種測量模式,包括適合高精度測量微米級台階和形狀的垂直掃描幹涉測量法 (WLI) 和適合測量納米級形狀和粗糙度的相移幹涉測量法 (PSI)。包括標準步驟樣品在內(nei) 的一切都是標準設備,包括用於(yu) 放大物鏡的左輪、自動載物台以及便於(yu) 操作、分析和管理測量數據的軟件。

主要特點

  • 低價(jia) !
    在配備所有必要功能的同時實現低價(jia)

  • 納米級高分辨率
    采用相移幹涉法實現高分辨率

  • 全標準設備
    XY自動載物台,手動左輪,自動光強調節,自動對焦功能

  • 緊湊的外殼
    主體(ti) 的占地麵積為(wei) 30 x 30 cm 的緊湊設計。

  • 配備 WLI 和 PSI 兩(liang) 種測量模式 一台設備即可
    測量台階測量和粗糙度測量

  • 操作
    簡單 基本操作隻是簡單的鼠標操作

  • 符合 ISO 標準的粗糙度測量符合
    國際標準 ISO25178

  • 可擴展性
    多種物鏡選擇,數據拚接功能

主要應用

半導體晶圓凸塊、CMP焊盤等
醫療領域注射針、人工關節、支架等
安裝板銅線、凸點、透鏡等

規格

測量規格

 

 垂直掃描白光幹涉測量法 (WLI)相移幹涉測量 (PSI)
測量範圍50 納米 – 10 毫米0 – 3 微米
準確性0.7%——
再現性0.1%——
反射範圍0.05% – 99%0.05% – 99%

 

設備規格

XY自動載物台100mm x 100mm
Z軸驅動範圍100mm
壓電驅動範圍500微米
掃描速度12微米/秒
相機2592 x 1944(500 萬像素)
體重15公斤

 

物鏡規格

 5次 10倍20次50次 百倍
視野4.0 x 3.4 毫米 2.0 x 1.7 毫米1.0 x 0.85mm0.4 x 0.34mm 0.2 x 0.17mm
鏡頭分辨率 2.1微米0.92微米 0.69 微米 0.5微米 0.4微米 



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