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日本sanyu electron桌麵塗布機SC-708係列
特征

大型基板全鍍膜的離子濺射設備
濺射靶材可提供相隔 1 英寸的尺寸,例如 4'/5'/6'/7'/8'。
在形成微通道流路以及濺射薄膜製造時支持 PDMS 表麵處理
配備鍍膜模式/蝕刻模式

應用/結果示例

適用於(yu) 各種設備的電極膜附件
反光膜製作應用
樣品表麵親(qin) 水化處理應用(蝕刻方式)
PDMS表麵處理應用(蝕刻模式)等
日本sanyu electron桌麵塗布機SC-708係列

基本規格

陰極 | φ4-8英寸/2極對向電極 |
濺射電流 蝕刻電流 | 0-50mA(包括電流表) |
濺射電壓 蝕刻電壓 | 0.8 / 1.4kV |
氣體引入機製 | 針閥 |
真空泵 | 直聯回轉泵:100l/min(帶自動漏氣) |
腔室尺寸 | 內徑φ240mm x D240mm(SUS製) |
樣品交換方式 | 前門開閉式 |
樣本量 | φ4 ~ 8 英寸 |
尺寸(寬/深/高) | 主體:282/450 / 440mm RP:460/175 / 265mm |
重量 | 身體:約20kg RP:23kg |
特殊規格示例

![]() SC-704AT 膜厚可控全自動機型 | ![]() SC-704MC 磁控陰極采用型號 (無蝕刻/交流濺射功能) |
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