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日本pureron排氣過濾器FBA係列

更新日期：2024-05-12

訪問量：720

廠商性質：經銷商

生產(chan) 地址：

簡要描述：
日本pureron排氣過濾器FBA係列
全材質用不鏽鋼SUS316L
優良的耐熱性
*過濾精度
圓筒型過濾體可以從頂端和周圍都排氣

日本pureron排氣過濾器FBA係列

日本pureron排氣過濾器FBA係列

 

排氣過濾器　FBA係列

製造半導體(ti) 元器件裝置在裝填-閉鎖真空室（load-lock chamber）和傳(chuan) 送室（transfer chamber）裏進行真空破壞，那時候浮粒子會(hui) 卷起來和發生過渡性亂(luan) 流，這些都會(hui) 導致晶片損壞。跟以往的方法：把氮氣緩慢地吹進到室內(nei) —相比，隻用FBA排氣過濾器就能夠避免那樣現象且提高生產(chan) 率。

特點

  • 全材質用不鏽鋼SUS316L
  • 優良的耐熱性
  • *過濾精度
  • 圓筒型過濾體可以從頂端和周圍都排氣

 

 

過濾精度0.003μm
常用壓力1MPa未滿
使用溫度400℃
加熱溫度400℃
接觸氣體材質 不鏽鋼SUS316L
接頭1/4“和3/4”tube，1/4“和1/2”墊圈封口，各種法蘭※

 

 
 

排氣過濾器

 

  • FBA係列： 過濾精度0.003μm

特點

  • 全材質用不鏽鋼SUS316L
  • 優良的耐熱性
  • *過濾精度
  • 圓筒型過濾體可以從頂端和周圍都排氣

 

特點

  • 全材質用不鏽鋼SUS316L
  • 優良的耐熱性
  • *過濾精度
  • 圓筒型過濾體可以從頂端和周圍都排氣

  • 特點

  • 全材質用不鏽鋼SUS316L
  • 優良的耐熱性
  • *過濾精度
  • 圓筒型過濾體可以從頂端和周圍都排氣

  • 特點

  • 全材質用不鏽鋼SUS316L
  • 優良的耐熱性
  • *過濾精度
  • 圓筒型過濾體可以從頂端和周圍都排氣

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