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日本hamai高純度氣體兼容容器閥

更新日期：2024-05-12

訪問量：795

廠商性質：經銷商

生產(chan) 地址：

簡要描述：
日本hamai高純度氣體兼容容器閥
高純度氣體兼容容器閥
與高純度氣體兼容的高性能容器閥，用於半導體製造等

日本hamai高純度氣體(ti) 兼容容器閥

日本hamai高純度氣體(ti) 兼容容器閥

 

高純度氣體兼容容器閥

與高純度氣體兼容的高性能容器閥，用於半導體製造等

一種高純度氣體(ti) 的容器閥，與(yu) 半導體(ti) 製造中使用的高純度氮氣，高純度氧氣和液化氨兼容。根據氣體(ti) 的種類，我們(men) 有各種車身材料（如黃銅和不鏽鋼）以及各種各樣的結構（如背板類型和隔膜類型）的產(chan) 品陣容。

G-12型銅後座閥

[功能]高純度氣體(ti) 用黃銅後座閥，閥體(ti) 采用C3771材料。通過*的O形圈凹槽支持高真空。接地螺母上的雙O形圈結構追求更高的氣密性。

[規格] 
，黃銅
易燃
，不易燃
，助燃

G-55L型黃銅隔膜閥

[特征]銅製隔膜閥，通過研磨膜片和非油脂規格，可支撐更高純度的氣體(ti) 。通過采用與(yu) SUS-55LN型相同的結構，可以實現高耐用性。雙O形圈結構是疏散的理想選擇。

[規格] 
，黃銅
易燃
，不易燃
，助燃

SUS-12型不鏽鋼隔膜閥

[特點]高純度氣體(ti) 用不鏽鋼後座閥，具有與(yu) 銅G-12型相同的結構，並使用SUS316L，對閥體(ti) 具有優(you) 異的耐腐蝕性。諸如Teflon和雙O形圈的密封填料可保持較高的氣密性。

[規格] 
，不鏽鋼
-flammable 
，不易燃
，助燃

・氣體(ti) 快速逸出，可以縮短檢查周期
・搜索氣體(ti) 的改變是一觸式
⇒使用大氣氮氣檢查泄漏和總泄漏量後，
　 氬氣可以通過切換到模式來確定泄漏位置。
 

無需高級技能

-由於(yu) 沒有吸收或滲透到彈性體(ti) 中，因此可以進行可靠的泄漏檢測。
 

可以準確定量泄

當排出各種氣體(ti) 時，每種氣體(ti) 都會(hui) 發出自己*的光。通過測量這些光的每個(ge) 波長的光譜強度，可以測量各種氣體(ti) 的分壓。從(cong) 該分壓計算出每種氣體(ti) 的泄漏量。
由於(yu) 它可以測量光線，因此甚至可以很容易地測量低真空。
（右圖是各種氣體(ti) 的發射顏色的示例。）
 

發射光譜1.png




進入

右圖是確認使用已知電導率的元件在大氣壓空氣下進行靈敏度校準後，使用氬氣測量泄漏量的精度的圖表。通過在大氣中校準一次，可以準確測量高達10-8 Pa·m3 / s的氣體(ti) ，而與(yu) 氮氣和氬氣等氣體(ti) 類型無關(guan) 。

SLD氬氣敏感性特征圖.png



 

進入

物品   規格值

可檢測泄漏量
 		   10 -2 至10 -8 Pa ・ m 3 / s
工作壓力

   約50Pa


搜索氣
 		   氬氣，空氣（N 2）等 
分析方法   光學的
標準校準器   標準電導元件
顯示/操作單元   手持式帶圖形顯示

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