星空体育app最新版本下载PRODUCTS
日本ACE排氣壓力控製器EPS5000 series
日本ACE排氣壓力控製器EPS5000 series
主要用途
- ♦單晶圓清洗設備的腔室壓力控製
- ♦清潔送風室和清潔卡車室的壓力控製
- ♦受排氣管壓力波動影響的設備和工藝
- ♦液晶氣刀罐排氣壓力控製
- ♦潔淨室的排氣壓力控製
可從5A開始
| 物品 | EPS-5200 | EPS-5150 | EPS-5100 |
| 連接管口徑 | 200A | 150A | 100A |
| 流量範圍（一次側） | 0.5至15 Nm3 /分鍾 | 0.5-10 Nm3 /分鍾 | 0.3-5 Nm3 /分鍾 |
| 如果流量小於最小流量，則可能無法達到設定壓力。 | |||
| 壓力損失 | 50 Pa at 15 Nm3 / min（空氣） | 10 Nm3 / min時20 Pa以下（空氣） | 10 Nm3 / min時20 Pa以下（空氣） |
| 控製閥連接 | 200A管道 | 150A水暖 | 100A管道輸出 |
| 調整壓力範圍（一次壓力） | -50至-999Pa（取決於與大氣壓和二次壓力的壓差） | ||
| 二次壓力（閥門下遊壓力） | （控製壓力-50）Pa以下 | ||
| 如果壓差小於此值，則主要調節範圍將變窄。 | |||
| 壓力精度 | 滿量程的±2％ | ||
| 控製紋波（穩定控製期間的變化） | 滿量程的±1％（在二次壓力波動的±10 Pa內） | ||
| 耐壓（一次壓力） | 50kPa以內（與大氣壓的壓差） | ||
| 反應性 | 在2秒鍾內達到設置的98％（典型值） | ||
| 流體溫度 | 10-50℃ | ||
| 主機環境溫度（精度保證溫度） | 15-35℃ | ||
| 電源電壓 | 24V DC±10％ | ||
| 外部輸出 | 壓力信號：1-5V DC | ||
| 報警：NPN晶體管集電極開路DC 30V <100mA | |||
| 控製器（CD-100） | 現場設置或外部設置均可切換 | ||
| 外部設定信號 | 壓力設定信號：4〜20mA | ||
| 閥門：強製打開，控製 | |||
| （選件）控製/打開（C / O）：24V DC ON / OFF | |||
| 報警信號 | 壓差（可選設置） | ||
| 身體異常（包括壓力控製器異常） | |||
| 串行通訊 | RS485 | ||
| 供氣（N2）壓力 | 0.3±0.1兆帕 | ||
| 每個端口 | Φ6mm一觸式（閥門，電動氣動部分） | ||
| Φ4mm一鍵式（用於壓力測量） | |||
| 閥門的供應管道是可選的 | |||
| 氣體接觸材料 | PVC，Viton，EPDM | ||
| 安裝姿勢 | 自由 | ||
| 控製閥狀態 | 電源關閉時保持閥狀態 | ||
