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日本ACE壓力控製器AP250 / AP500
日本ACE壓力控製器AP250 / AP500
AP250 / AP500
AP250和AP500是適用於(yu) 半導體(ti) 製造工藝等中使用的清潔氣體(ti) 壓力控製的大流量型控製器，由氣壓控製單元（相當於(yu) AP100N）和圓頂型調節器單元組成。
此外，外部安裝有壓力傳(chuan) 感器，來自傳(chuan) 感器的信號輸入到氣壓控製單元，氣壓控製組的閥被開/關(guan) 控製，以調節調節器中球罩的內(nei) 部壓力自動調節以匹配任何設定的壓力值。通過將流量傳(chuan) 感器安裝到外部，它也可以用作流量控製器。
AP250的控製流量為(wei) 5001 / min，AP500的控製流量為(wei) 2000L / min，兩(liang) 種類型的控製壓力約為(wei) 600kPa。
壓力接頭與(yu) 適用於(yu) AP250的1/2“ VCR和等同於(yu) AP500的3/4” SWAG等效或適用於(yu) AP500的3/4“ VCR等效。適用於(yu) 真空清潔氣體(ti) ，用於(yu) 導體(ti) ，惰性氣體(ti) ，腐蝕性氣體(ti) ，危險氣體(ti) 等可以使用。
| 模型 | AP250 | AP500 |
| 主要用途 | 對於FPD，燃料電池 | 對於FPD，燃料電池 |
| 目標氣體 | N2，空氣，H2等 | N2，空氣，H2等 |
| 入口壓力 | 999kPa以下 | 999kPa以下 |
| 耐壓 | 小於1500kPa | 小於1500kPa |
| 壓力設定 | 用顯示設定裝置設定 | 用顯示設定裝置設定 |
| 控製方式 | 圓頂內部的氣動控製 | 圓頂內部的氣動控製 |
| 控製壓力 | 0-500kPa | 0-500kPa |
| 流量 | 500L /分鍾 | 2000L /分鍾 |
| 響應時間 | 1秒鍾達到設定值 | 1秒鍾達到設定值 |
| 輸入信號 | 0-5 VDC連續/關閉 | 0-5 VDC連續/關閉 |
| RS485 | RS485 | |
| 外部傳感器輸入 | （4至20mA標準） | （4至20mA標準） |
| 輸出信號 | 報警輸出，RS485 | 報警輸出，RS485 |
| 管件 | 相當於1/2英寸的VCR或相當於1/2英寸的世偉洛克 | 相當於3/4英寸的VCR或相當於3/4英寸的世偉洛克 |
| 閥座泄漏 | 10-5Pa ・ m3 /秒以下 | 10-5Pa ・ m3 /秒以下 |
| 準確性 | 取決於壓力傳感器的規格 | 取決於壓力傳感器的規格 |
| 電源電壓 | 24VDC±10％ | 24VDC±10％ |
| 目前的消費 | 200mA以下 | 200mA以下 |
| 工作溫度 | 0-50℃無凝結 | 0-50℃無凝結 |
| 麵之間的外部尺寸 | 寬70×深145×高124mm | 寬80×深178×高170mm |
| 壓力傳感器 | 無（外部） | 無（外部） |
| 顯示設定裝置 | 是（可以單獨安裝） | 是（可以單獨安裝） |
