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    小型ECR原子/自由基束源（ERS-35）技術解析及應用前景

    發布時間： 2023-09-12　　點擊次數： 359次

    摘要：
    小型ECR原子/自由基束源（ERS-35）是一種適用於(yu) MBE等超高真空設備的先進束源。本文將介紹其特點和設備規格，並重點探討其在MBE設備用氮/氧自由基源和表麵清洗用原子氫源等應用領域的潛力。

    QQ截圖20230912211933.jpg

    介紹：
    ERS-35采用了電子回旋共振放電技術，可在超高真空環境下提供穩定的原子束或自由基束，廣泛應用於(yu) 分子束外延（MBE）和其他超高真空設備中。其具備以下特點：

    1. wanquan金屬密封：ERS-35與(yu) 超高真空設備兼容，采用wanquan金屬密封設計，確保在真空環境中穩定工作，避免任何氣體(ti) 泄漏和汙染。

    2. 易於(yu) 操作的同軸電纜電源：ERS-35配備了易於(yu) 操作的同軸電纜電源，簡化了功率供應的連接和控製，提高了設備的可操作性和穩定性。

    3. 無金屬汙染的介電襯裏：為(wei) 了確保高純度的束流輸出，ERS-35采用無金屬汙染的介電襯裏，有效減少了雜質的產(chan) 生和汙染的風險。

    4. 帶偏壓電極的介電引出柵：ERS-35的介電引出柵設計了帶偏壓電極，擅長產(chan) 生自由基束。這種設計允許束源輸出具有高度定向性和可調控性的自由基束。

    設備規格：

    • 連接真空端口標準：ICF70，與(yu) 常見的超高真空設備接口標準兼容。

    • 同軸連接器標準：N型，便於(yu) 與(yu) 其他設備進行連接和集成。

    • 適用微波頻率：2.45GHz，與(yu) 常用工業(ye) 微波設備兼容。

    • 允許微波功率：最大100W，提供充足的能量供應。

    • 冷卻方式：水冷，確保設備在長時間運行中保持合適的溫度。

    應用實例：

    1. MBE設備用氮/氧自由基源：ERS-35能夠產(chan) 生穩定而高純度的氮或氧自由基束，可用於(yu) 分子束外延（MBE）中的材料沉積和氣相外延生長，實現精確的薄膜和納米結構的控製。

    2. 表麵清洗用原子氫源：ERS-35的原子束輸出適用於(yu) 表麵清洗和表麵修飾應用。氫原子束可以高效地清除表麵的雜質和氧化物，並恢複材料的純淨度和特性。

    結論：
    小型ECR原子/自由基束源（ERS-35）通過其    wanquan金屬密封、易操作的同軸電纜電源和帶偏壓電極的介電引出柵等特點，廣泛應用於(yu) MBE設備用氮/氧自由基源和表麵清洗用原子氫源等領域。隨著技術的進一步發展，ERS-35將為(wei) 超高真空設備的研究和應用提供更多創新的可能性。


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