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    多晶矽薄膜的膜厚和折射率分析

    發布時間： 2022-04-26　　點擊次數： 1305次

    多晶矽薄膜的膜厚和折射率分析

    測量示例

    可以測量從(cong) 半導體(ti) 等精密加工產(chan) 品到眼鏡和汽車零件的各種樣品的膜厚。

     

    F3-CS桌麵式膜厚測量係統

    F3-CS 是測量小樣品的測量係統。與測量台集成的測量係統使其易於攜帶。
    隻需將樣品的測量麵朝下放在載物台上即可進行測量，大約1秒即可測量膜厚和折射率。

    主要特點

    • 緊湊的尺寸

    • 輕鬆連接，僅(jin) USB 連接

    • 光學常數分析（折射率/消光係數）

    主要用途

    光學鍍膜硬塗層、防滴膜等
    平板有機膜等

    產品陣容

    模型F3-CS-UVF3-CSF3-CS-近紅外
    測量波長範圍190 – 1100nm380 – 1050nm950 – 1700nm

    膜厚測量範圍

    		3nm – 40μm15nm – 70μm100nm – 250μm
    準確性*± 0.2% 薄膜厚度± 0.4% 薄膜厚度
    1納米2納米3納米

    *取決(jue) 於(yu) 樣品和測量條件



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